[实用新型]一种真空腔室提拉杆通气通水解绕结构有效
| 申请号： | 202120906536.5 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN214694457U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 乔晓杰;翟庆波 | 申请（专利权）人： | 山东晶升电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人： | 张俊涛 |
| 地址： | 250013 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体生产技术领域，特别公开了一种真空腔室提拉杆通气通水解绕结构。它包括提拉杆，提拉杆依次密封连接进气管磁流体、水套、皮带轮、旋转磁流体和波纹管，其中水套和旋转磁流体分别与提拉杆旋转密封，皮带轮固定在提拉杆上；水套设有进水管和出水管，对应于进水管的提拉杆上开有一圈进水槽，对应于出水管的提拉杆上开有一圈出水槽，提拉杆内嵌有循环水管，循环水管的两端分别与进水槽和出水槽贯通；提拉杆内还嵌有通气管，通气管上端与进气管磁流体连通，下端从提拉杆伸出。本实用新型可以一边旋转一边通气，通水通气二合一，这样就实现了通水通气同时进行，并且不会发生线路缠绕问题，这样生产出来的单晶硅质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 拉杆 通气 通水 结构 | ||
【主权项】：
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