[实用新型]一种扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 202120941439.X | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN214477325U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 杨秋;时晓露;余立架 | 申请（专利权）人： | 宁波新材料测试评价中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315042 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品台本体以及设置在样品台本体上方的金属层，金属层的下表面与样品台本体的上表面相接触；金属层设置若干贯穿金属层厚度的孔洞，与样品台本体的上表面形成一端开口的槽结构；或者，自金属层的上表面至下表面方向设置若干一端开口的槽，其开口端为金属层的上表面，槽的深度小于金属层的厚度。该样品台结构简单，易制作，可一次性制备多个粉体样品，清洗后可重复使用而降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】：
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