[实用新型]一种双侧可旋转软毛刷清洁硅片的装料盒有效

专利信息
申请号: 202120964985.5 申请日: 2021-05-08
公开(公告)号: CN214767228U 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 朱庆龙;张力峰;邹文龙 申请(专利权)人: 扬州晶樱光电科技有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B13/00;H01L21/673;H01L21/67
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 周鑫
地址: 225100 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的属于硅片装料盒技术领域,具体为一种双侧可旋转软毛刷清洁硅片的装料盒,包括盒体,所述盒体的两侧内壁固定设置有相对称的电动马达,两个所述电动马达相视的一端均固定设置有夹具,所述夹具包括固定板,所述固定板的板壁开设有相对称的滑槽,所述滑槽的内部横向转动设置有螺杆,所述螺杆的杆壁转动设置有滑块,所述滑块位于滑槽外侧的一端固定设置有夹板,两个所述夹板之间夹持设置有毛刷,两个所述固定板相视一侧的底部固定设置有支撑板,所述支撑板的上侧壁与毛刷的底座侧壁贴合,所述盒体的上端固定设置有盒盖,所述盒体与盒盖相视一侧的侧壁均固定设置有限位块,两个所述限位块之间接触设置有硅片。
搜索关键词: 一种 双侧可 旋转 软毛 清洁 硅片 装料
【主权项】:
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