[实用新型]一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅晶体生长炉热场保温装置，包括晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体和安装于炉体内的热场，炉体的内壁上纵向开设有四组导向槽，导向槽内滑动设置有导向轮且一侧开设有安装口，导向轮的外端与热场相连接，安装口内呈倾斜状设置有限位压杆，限位压杆的上端与安装口的上端通过合页活动连接且内侧与安装口内置之间连接有弹片，炉体与热场之间设置有保温筒，保温筒的上端均匀开设有四组卡口，限位压杆的下端卡扣于卡口内，保温筒的内壁上等距加工成型有若干组凸环。本实用新型在保温筒与热场之间设计有专门的导向机构并配合上方的锁紧机构，可以达到对保温筒锁紧固定的目的，方便进行拆卸和安装。