[实用新型]一种分子束外延生产设备中的4吋转3吋衬底托板有效
| 申请号： | 202121011906.5 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN214612845U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杜全钢;郭帅;冯巍;谢小刚 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种分子束外延生产设备中的4吋转3吋衬底托板，涉及半导体制造技术领域。该托板包括4吋托板和转换托板；转换托板的外周形状以及尺寸与4吋托板的第一圆形通孔的形状及尺寸匹配，转换托板的外周上设置有一个倒置环形台阶，倒置环形台阶的内环直径小于突出部限定圆形的直径，转换托板的多个第二突出部共同用于承载3吋衬底片，第二突出部的数量与4吋托板的第一突出部的数量相等；转换托板的外圆周上设置有限位突起。通过设置与4吋衬底托板匹配的用于承载3吋衬底的转换托板，能够实现在4吋托板上进行3吋外延片的高质量生长，同时，通过在转换托板的外周上设置仅一个倒置环形台阶，减少了钼材料的用量，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 生产 设备 中的 吋转 衬底 | ||
【主权项】：
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