[实用新型]石墨等脆性坩埚内晶体取出工装有效
申请号: | 202121020276.8 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN214881937U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 唐飞;姜大朋;苏良碧;贾健 | 申请(专利权)人: | 上海德硅凯氟光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人: | 赵峰 |
地址: | 201802 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种石墨等脆性坩埚内晶体取出工装,包括坩埚固定工装和翻转工装,坩埚固定工装包括外壳体,外壳体为两端开口结构,外壳体上端通过螺栓固定安装有上封盖,外壳体内腔下方固定安装有支撑环形台,外壳体下端设置有下封盖,下封盖的上端面与支撑环形台相抵触;翻转工装包括台架,台架的一侧设置有放置平台,台架上端固定安装有两组轴承座,外壳体外部固定套接有固定外套件,固定外套件两侧表面中间均固定安装有转动轴,转动轴转动连接在两组轴承座内。本发明克服了现有技术的不足,在不损坏坩埚的情况下,能够将晶体从坩埚中完整取出。 | ||
搜索关键词: | 石墨 脆性 坩埚 晶体 取出 工装 | ||
【主权项】:
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