[实用新型]一种化学试剂储存柜有效

专利信息
申请号: 202121024208.9 申请日: 2021-05-13
公开(公告)号: CN216089581U 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 周一;毕洪伟;彭杰 申请(专利权)人: 威科赛乐微电子股份有限公司
主分类号: A47B81/00 分类号: A47B81/00;A47B88/40;A47B95/00;A47B97/00;F04B37/10;F04B49/06;B01D53/26
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 黄宗波
地址: 404000 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及半导体加工领域,公开了一种化学试剂储存柜,包括柜体、柜门以及柜门把手,柜体的底部设置有接液抽屉,柜体的内壁上设置有两条滑轨,接液抽屉的两侧设置有滑条;柜体两侧的内壁上安装有放置板,放置板上开设有多个通孔;柜体的背面开设有多个排风口,柜体的顶部设置有多个通风管,每个通风管的轴向上设置有多个出风口,出风口的朝向朝下,柜体远离柜门一侧的外壁上设置有多个分流管以及PLC控制器,每个分流管的一端与通风管连通,另一端与气泵的出气管连通,每个分流管上安装有电磁阀,多个电磁阀均与PLC控制器电连接,PLC控制器与气泵电连接,可用来解决试剂瓶上残留的水分,导致储存柜中的湿度增加,不利于化学试剂保存的问题。
搜索关键词: 一种 化学试剂 储存
【主权项】:
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