[实用新型]一种光阻膜分离用滚筒式过滤装置有效
申请号: | 202121026827.1 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN214914108U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 计向东 | 申请(专利权)人: | 昆山大洋电路板有限公司 |
主分类号: | B01D36/02 | 分类号: | B01D36/02 |
代理公司: | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人: | 李微 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种光阻膜分离用滚筒式过滤装置,包括机柜、滚筒、驱动电机、药水收集箱以及光阻膜收集箱,所述滚筒设置于所述机柜的内部,所述驱动电机设置于所述机柜的外侧,且所述驱动电机传动连接所述滚筒;所述药水收集箱设置于所述滚筒的下方,所述机柜正面设置有柜门,所述光阻膜收集箱位于所述柜门的下方;所述滚筒的出口对应所述柜门设置;采用本实用新型所提供的光阻膜分离用滚筒式过滤装置,解决了药水与光阻膜在过滤篮里无法快速的分离,而导致药水外泄、返流到主槽里堵塞喷嘴、光阻膜剥不干净等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 光阻膜 分离 滚筒 过滤 装置 | ||
【主权项】:
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