[实用新型]压电式MEMS麦克风以及电子设备有效
| 申请号： | 202121032620.5 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN215268716U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴清清;黄景泽;高传海;效烨辉 | 申请（专利权）人： | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R17/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 钱能;陈烨 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风以及电子设备，麦克风包括：衬底，其内设置有沿上下方向贯穿的音腔；衬底包括设置于音腔内的支撑体；振膜，其设置于音腔的上方；支撑体与振膜相抵，且振膜包括两个朝向支撑体的相对侧延伸的悬臂膜；悬臂膜能相对于支撑体振动，进而产生振动应变；两个压电层叠单元；与两个悬臂膜相对应；压电层叠单元设置于对应的悬臂膜上，压电层叠单元用于根据对应的悬臂膜的振动应变生成电信号，振膜以支撑体为支点形成杠杆结构。本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风以及电子设备，其灵敏度高且能无需形成阵列，指向性高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海思立微电子科技有限公司，未经上海思立微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121032620.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种61850通讯直流电源监控装置
- 下一篇：一种医疗器具清洗机
