[实用新型]一种电子级化学品储槽氮封装置

摘要

本实用新型公开了一种电子级化学品储槽氮封装置，包括储槽、氮封装置、供氮罐和储氮罐，所述储槽设置在氮封装置的下方，所述供氮罐和储氮罐分别放置在氮封装置的左右两侧，所述氮封装置与供氮罐之间设置有进氮管，所述氮封装置与储氮罐之间设置有排氮管，所述氮封装置的内部分别开设有供氮腔和排氮腔，所述供氮腔的内部设置有第一堵头，所述第一堵头的顶部固定连接有延伸出氮封装置的活动杆。该电子级化学品储槽氮封装置，结构新颖，构思巧妙，能够维持储槽内部压力的恒定，解决了储槽因压力变化产生变形而导致的储槽使用寿命缩短的问题，同时可以对储槽内部的氮气进行回收利用，减少了氮气资源的浪费。