[实用新型]一种超净高纯氢氟酸的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种超净高纯氢氟酸的制备装置，包括氟化氢储存罐，所述氟化氢储存罐的右侧连通有预热箱，所述预热箱的右侧连通有精馏装置，所述精馏装置的顶部连通有蒸馏器，所述蒸馏器的下侧连通有混合罐，所述混合罐的下侧连通有冷却罐，所述冷却罐的下侧连通有过滤器，所述过滤器的下侧连通有成品箱，所述混合罐的右侧设置有水箱，所述混合罐和水箱之间设置有进水管。该超净高纯氢氟酸的制备装置，结构新颖，构思巧妙，通过对热量进行回收利用达到对氟化氢气体进行预热的效果，不仅可以节约能源，还可以提高生产效率，同时通过精馏装置和蒸馏器对氟化氢气体进行多次纯化，再经由过滤器进对氢氟酸进行过滤，保证了氢氟酸的纯度。