[实用新型]一种低功耗的超洁净差动电磁阀

摘要

本实用新型公开了一种低功耗的超洁净差动电磁阀。阀盖和阀座紧密装配合围成超洁净流室，超洁净流室有进入、排出流路；内设超洁净阀芯，超洁净流室顶部和底部外的阀盖外壁分别安装有外侧上层永磁体和外侧下层永磁体；外侧上层永磁体和外侧下层永磁体之间的阀盖外壁套装设有致动线圈，固定套外套装有阀芯位移传感器，阀芯位移传感器用于实时检测超洁净阀芯在超洁净流室中的轴向位置。本实用新型仅在维持开度时通电，解决了线圈驱动的超洁净电磁阀中电流较大，发热严重以致超洁净介质温升过高的问题，减小了线圈式超洁净电磁阀的功耗。