[实用新型]一种硅烷尾料回收系统有效

专利信息
申请号: 202121080429.8 申请日: 2021-05-19
公开(公告)号: CN215335810U 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 常璟春;徐岩;尚明达;陈晓冬;刘思远;云森;成新科 申请(专利权)人: 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
主分类号: F17D1/04 分类号: F17D1/04;F17D3/01;C01B33/04
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 张一军;李阳
地址: 719208*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种硅烷尾料回收系统,包括回收管路、硅烷回收低压储罐、硅烷回收中压储罐、硅烷排放淋洗塔;硅烷回收低压储罐、硅烷回收中压储罐分别配套有冷却系统和蒸发系统;其中,硅烷尾料导入到回收管路,根据硅烷尾料压力,进入硅烷回收低压储罐或硅烷回收中压储罐进行纯化,纯化后的硅烷尾料气可送至检测设备,根据检测的等级,确定继续纯化或降级送至下游生产使用;另外,硅烷尾料纯化后的残余硅烷气通过硅烷排放淋洗塔排放。该实施方式能够解决现有无法对硅烷尾料进行回收利用的问题。
搜索关键词: 一种 硅烷 回收 系统
【主权项】:
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