[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用密封机构有效
| 申请号： | 202121145367.4 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN216144141U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/12 | 分类号： | F26B25/12;F26B23/06;F26B5/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用密封机构，包括机体和密封门，所述机体的表面一侧对称通过合页铰接有密封门，所述密封门的一侧对应两端均开设有安装槽，所述安装槽内通过轴承座安装有双向丝杆，所述双向丝杆中间设有DD马达，所述双向丝杆的两端均滑动套设有滑块，所述滑块表面通过固定螺栓安装有连接柱，所述连接柱一端通过连接块与密封板连接，所述密封板内设有若干个加热丝，本实用新型，防止水滴从密封门边缘处渗出，能对密封板表面的水滴进行烘干处理，方便使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双腔晶圆甩干机用 密封 机构 | ||
【主权项】：
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