[实用新型]一种MEMS硅膜气流传感器有效
| 申请号： | 202121154538.X | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN214748599U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 黄亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市光刻科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS硅膜气流传感器，包括PCB板、杯形的金属壳体；金属壳体的敞开口与PCB板的外边缘适配密封固定连接，且金属壳体与PCB板密封固定连接后形成一内腔体；在金属壳体上开设有上通孔，在金属壳体的上通孔表面设置一层具有防水防油的透气膜；在PCB板上开设有下通孔。该气流传感器，其感应气流变化的元件为MEMS硅膜芯片，该芯片采用硅膜来感应气流变化；硅膜具有较好的弹性和稳定性，能感应微小气流变化，灵敏度高，且硅膜能耐高温，不易变形，寿命长；由于MEMS硅膜芯片为一体化设计，便于整体粘结组装，使得整个气流传感器设计简单、组装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 气流 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市光刻科技有限公司，未经深圳市光刻科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121154538.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
