[实用新型]硅烷生产系统有效
| 申请号： | 202121158977.8 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN215711809U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张宝顺;张婧;李彦;宗冰;王体虎 | 申请（专利权）人： | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了硅烷生产系统，包括CVD沉积炉、精馏塔组、歧化反应器、硅烷分离塔、氯硅烷分离塔，CVD沉积炉的原料输入端连接三氯氢硅输入管道，CVD沉积炉的尾气输出端连接精馏塔组，精馏塔组的TCS输出端与CVD沉积炉的原料输入端连接，精馏塔组的DCS输出端与歧化反应器的进口连接，歧化反应器的输出端与塔顶与硅烷分离塔连接，硅烷分离塔的塔釜与氯硅烷分离塔连接，氯硅烷分离塔的塔顶与歧化反应器的进口连接，氯硅烷分离塔的塔釜与精馏塔组连接。在本实用新型中，利用SiH |
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| 搜索关键词： | 硅烷 生产 系统 | ||
【主权项】：
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