[实用新型]一种晶圆甩干机用喷吹装置有效
| 申请号： | 202121161339.1 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN216144062U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18;F26B21/00 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆甩干机用喷吹装置，包括机箱、甩干筒体和安装架，所述安装架的内部设有定位板，且定位板与安装架之间形成滑道，所述定位板的中间安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端与连接板连接，所述连接板的一端安装有滑块，且滑块位于滑道内，所述滑道上设有安装板，所述安装板内设有加热管，所述安装板顶部安装有鼓风仓，所述鼓风仓内安装有鼓风机，所述安装板底部均匀安装有喷头，本实用新型，通过旋转电机带动连接板转动，使得滑块在滑道内滑动，带动安装板绕甩干筒体运动，鼓风仓内的鼓风机工作，与加热管工作形成热风，通过喷头喷出，对甩干筒体内的晶圆进行风干处理，喷吹效果好，干燥方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆甩干机用喷吹 装置 | ||
【主权项】：
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