[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构有效
| 申请号： | 202121161352.7 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN216137829U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/02;B08B1/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用洗刷机构，包括机体、安装架和筒体，所述机体内部通过安装架安装有筒体，所述筒体上设有水箱，所述机体外壁设有步进电机，所述步进电机的输出端伸入到筒体内与螺纹喷水管连接，所述螺纹喷水管内设有输水管，所述水箱通过导水管与输水管一端连接，且导水管上设有导水泵，所述螺纹喷水管两端均套设有清洁组件，本实用新型，水箱内的清水通过导水泵与导水管相配合，输送至输水管内，并通过螺纹喷水管喷出，对晶圆进行清洗，通过步进电机带动螺纹喷水管转动，使得两端的清洁组件对晶圆进行清洁，洗刷方便，洗刷效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双腔晶圆甩干机用 洗刷 机构 | ||
【主权项】：
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