[实用新型]一种半导体清洗机用高效喷淋装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体清洗机用高效喷淋装置，涉及半导体清洗设备技术领域，包括清洗箱、动力箱、传动轴、活动柱、第一齿条、输液管道、进液软管、转动柱、输液口、空心盘、喷嘴、排污口、输送辊、同步齿轮、带轮和皮带。本实用通过设置第一齿条、第二齿轮和第二齿条起到了高效喷淋的作用，效率较高，保障晶圆受到充分的喷淋，降低了水资源的消耗，节能环保，降低了生产成本，综合使用效果较佳，还通过设置输送辊、同步齿轮、带轮和皮带起到了同步带动所有的输送辊进行转动的作用，避免了由于输送辊之间存在转速差导致晶圆被刮花的情况发生，降低了设备使用成本，提高了市场竞争力，结构简单便于维护，使用效果好。