[实用新型]压力控制的研磨装置

摘要

本实用新型涉及压力控制的研磨装置，用于配合抛光磨头进行研磨抛光加工，具有支撑结构、治具结构，治具组装在支撑结构上，治具用于承载待加工产品且引导待加工产品运动研磨；支撑结构通过压力传感器组装在压力补偿模块上，该压力补偿模块组装底座上并依据压力传感器的驱动信号沿设定方向进给或后移，使待加工产品在研磨时获得补偿的压力更均匀。本实用新型结构简单、驱动简易、投资成本低，运动稳定，通过压力补偿模块的实时响应，实现自适调节压力补偿，保证抛光加工且避免抛光力过大，并保障产品品质，有助于提升抛光机的抛光质量及运行效率。