[实用新型]一种双腔晶圆甩干机用移动门有效
| 申请号： | 202121210030.7 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN218469437U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/00;F26B25/12 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机用移动门，包括甩干机主体、移动门主体和观察窗，所述甩干机主体上对称设有移动门主体，所述移动门主体上设有观察窗，所述移动门主体之间通过转杆连接，所述转杆中间固定套设有转动轮，所述甩干机主体外壁一侧中间安装有固定架，所述固定架顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端伸入到固定架内与驱动轴连接，所述驱动轴上固定套设有主动轮，所述甩干机主体上位于转动轮一侧通过固定轴安装有从动轮，且从动轮与转动轮和主动轮相互啮合，所述移动门主体的背面位于观察窗一侧设有螺杆，本实用新型，移动门打开方便，方便晶圆的放置和取出，能对移动门上的移动窗背面的残存水滴进行清理，方便观察。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双腔晶圆甩干机用 移动 | ||
【主权项】：
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