[实用新型]一种晶圆表面薄膜制备装置有效
| 申请号： | 202121238194.0 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN215902118U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 乔赛赛;陶为银;巩铁建;蔡正道 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人： | 乔俊霞 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆表面薄膜制备装置，涉及晶圆表面薄膜制备技术领域，具体为一种晶圆表面薄膜制备装置，包括薄膜制备固定台板，所述薄膜制备固定台板的上方固定连接有多通道气滑环，所述多通道气滑环包括气滑环外壳，所述气滑环外壳的内部转动连接有气滑环转轴。通过排气吸附顶盘、泄气管和电磁阀的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免晶圆与工装表面产生空气薄膜提高排气速度进而提高工作效率的效果，通过排气吸附底盘、排气吸附顶盘和抽真空气管的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免硬度高的夹具直接作用在晶圆上且作用力均匀进而避免晶圆破损的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
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