[实用新型]一种曝光平台有效

专利信息
申请号: 202121248062.6 申请日: 2021-06-05
公开(公告)号: CN216248757U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 余燕青;杜志航 申请(专利权)人: 东莞市友辉光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00;H05K13/00
代理公司: 东莞市创益专利事务所 44249 代理人: 许彬
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种曝光平台,具有支撑底座及组装在支撑底座上的上铬板固定框、下铬板固定框及CCD对位机构,上铬板固定框上组装上铬板,下铬板固定框上组装下铬板,待曝光的线路板放置在上铬板固定框和下铬板固定框之间进行曝光,CCD对位机构用于实现待曝光的线路板与上铬板和下铬板的对位,上铬板固定框和下铬板固定框之间设有密封真空贴附装置,密封真空贴附装置用于将待曝光的线路板在上铬板固定框和下铬板固定框之间,在真空状态下保持与上铬板和下铬板的稳定贴附对位进行曝光。本实用新型可以保证待曝光的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移,继续保持精确的对位状态,提升曝光生产效率及质量,加工精度更高。
搜索关键词: 一种 曝光 平台
【主权项】:
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