[实用新型]一种金刚石涂层设备的样品台有效

专利信息
申请号: 202121252458.8 申请日: 2021-06-04
公开(公告)号: CN214991840U 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 姚勇;孙力浩 申请(专利权)人: 上海三朗纳米技术有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/27;C23C16/46
代理公司: 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 代理人: 吴红艳
地址: 201600 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种金刚石涂层设备的样品台,涉及金刚石涂层技术领域,样品台安装在两个电极钼架中间,电极钼架之间连接钽丝;其特征在于,样品台包括底座,底座的上端平行安装有多个校准装置;校准装置包括对称设置在底座上的两个支撑柱,支撑柱的顶端固定有定位块,定位块上开有V字型的限位槽;两个支撑柱之间设有多个支撑块,支撑块上端开有凹槽,凹槽内放置有带有内孔的产品,钽丝穿过限位槽和产品的内孔,钽丝位于产品内孔的中心线上。本实用新型的样品台能够对钽丝的方向进行校准,使钽丝能够准确的穿过产品的内孔中心,对内孔进行加热,产品内孔镀层效果好,安装简单,省去了繁杂的测量校准工序。
搜索关键词: 一种 金刚石 涂层 设备 样品
【主权项】:
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