[实用新型]一种MEMS高精度谐振式压力传感器有效
| 申请号： | 202121282050.5 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215178276U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 沈旭东;李政华;周骏 | 申请（专利权）人： | 嘉兴恩湃电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 程开生 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS高精度谐振式压力传感器，包括绝压基座、接头装置、转接装置和第一密封圈，所述绝压基座内置于所述接头装置，所述第一密封圈安装于所述绝压基座并且所述转接装置与所述接头装置螺纹连接。本实用新型公开的一种MEMS高精度谐振式压力传感器，其将绝压基座安装于接头装置，并且通过密封圈进行密封，使得在恶劣条件下保证不漏气，还通过转接装置与接头装置的螺纹连接，从而能实现反复拆卸和安装，能进行长期使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 高精度 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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