[实用新型]一种移动式高频感应单晶炉有效
| 申请号： | 202121283255.5 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215947453U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 孙世刚;李学洋 | 申请（专利权）人： | 蔻晶(上海)科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 高红 |
| 地址： | 201699 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种移动式高频感应单晶炉，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶部中心处固定连接有单晶炉副室，所述单晶炉本体前侧设有观察框，所述单晶炉本体外围固定连接有支架，所述支架底部固定连接有底板，所述底板底部固定连接有托板，所述托板底部固定连接有阻尼减震座，所述阻尼减震座呈矩形排列分布，所述阻尼减震座底部固定连接有U型缓冲槽，所述托板两侧与U型缓冲槽内壁滑动连接，所述U型缓冲槽外壁固定连接有牵引环，本实用新型结构新颖，设计合理，便于对单晶炉本体进行稳定移动，通过设置密封套与套筒可避免坩埚拖杆在升降过程中泄漏单晶炉本体内部的热能，提高了坩埚本体的温度稳定性，便于对单晶硅进行顺利生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动式 高频 感应 单晶炉 | ||
【主权项】：
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