[实用新型]薄膜静电吸附测试机构有效
| 申请号： | 202121294207.6 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN215262189U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杨卫力 | 申请（专利权）人： | 台州市彩之源新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陈龙 |
| 地址： | 318020 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于自动化设备技术领域，尤其涉及一种薄膜静电吸附测试机构。本实用新型，包括吸附测试机座，所述的吸附测试机座上设有薄膜安置平台，所述的薄膜安置平台上设有多工位测试固定组件，所述的薄膜安置平台上方设有可沿竖直方向往复直线运动的静电测试件。本实用新型通过设置多工位测试固定组件，对放置于薄膜安置平台上的待测试薄膜进行固定，避免在测试过程中薄膜发生偏移以及弯曲，并且减少由于移动卷曲而产生静电的情况，测试精度较高，再通过下移静电测试件对薄膜进行静电吸附测试，自动化程度较高，在下移静电测试件移动过程中，通过导向定位柱对静电测试件起到定位导向的作用，提高了位移的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 静电 吸附 测试 机构 | ||
【主权项】：
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