[实用新型]一种硅片循环收料系统有效
申请号: | 202121298151.1 | 申请日: | 2021-06-10 |
公开(公告)号: | CN215477827U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 李文;李昶;王美;徐飞;李泽通;薛冬冬;韩杰;卞海峰 | 申请(专利权)人: | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
主分类号: | B65G37/00 | 分类号: | B65G37/00;B65G65/32;B65G69/00;B65G41/00;H01M10/04;H01M6/00 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孙际德;章陆一 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅片循环收料系统,包括硅片输送机构、收料输送机构及回流输送机构,其中:硅片输送机构的输送路径上设置有若干硅片收片工位,硅片输送机构被配置为将硅片输送至位于硅片收片工位处的料盒内;收满硅片的满料盒从硅片收片工位处被换向至收料输送机构上,收料输送机构被配置为将满料盒输送至位于收料输送机构的出料端的收料工位处;收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于回流输送机构的进料端的回流工位处,回流输送机构被配置为将位于回流工位处的空料盒朝向硅片收片工位输送以使得空料盒回流至硅片收片工位处。本实用新型实现了对硅片的自动收料,并实现了料盒在收片工位和收料工位之间的循环回流,提升了收料效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 循环 系统 | ||
【主权项】:
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