[实用新型]一种光刻机涂布旋涂机

摘要

本实用新型属于旋涂机技术领域，具体涉及一种光刻机涂布旋涂机，包括外壳体，外壳体顶侧通过转轴连接的下盖体上粘接有上盖体和玻璃视镜，玻璃视镜底侧贴合有密封垫，外壳体内部通过隔离板分隔有工作腔和真空腔，工作腔内部安装的电机通过带传动机构传动连接有转动轴，转动轴上安装的导电滑环的侧面滑动连接有碳刷，转动轴顶端固定连接的载物盘上开设的置物槽的底部安装有加热片，载物盘顶面安装有多个夹持机构，外壳体侧面安装有真空表、止回阀、快接接头，转动的加热片可对基片进行稳定加热，并避免碳刷与导电滑环摩擦产生的碳粉影响产品质量，真空腔抽真空后相互紧贴的玻璃视镜和密封垫可保证装置的气密性，夹持机构可对基片进行稳定的夹持。