[实用新型]一种清洗用的真空射频电极

摘要

本实用新型公开了一种清洗用的真空射频电极，包括真空室，所述真空室内设置有真空箱，所述真空室一侧设置有混汽罐，混汽罐与所述真空箱通过连接管连通，所述真空箱内设置有射频管，射频管的侧壁与所述连接管连通，所述射频管的一侧壁设置有出料管，出料管贯穿所述真空箱，并延伸至所述真空室内，射频管内设置有介质管，所述介质管内设置有绝缘支柱，介质管的内侧壁上设置有水冷RF电感，所述水冷RF电感贯穿所述绝缘支柱的侧壁，且延伸至所述绝缘支柱内，所述真空箱一侧设置有真空负偏压。本实用新型通过等离子清洗并不会破坏被处理的材料或者产品的固有特性，因而不会影响玻璃的正常使用，具有很好的保护效果，对环境零污染。