[实用新型]一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置有效
申请号: | 202121349199.0 | 申请日: | 2021-06-17 |
公开(公告)号: | CN214936659U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 禹大龙;褚世斌 | 申请(专利权)人: | 泛源环境科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C02F9/04 | 分类号: | C02F9/04 |
代理公司: | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人: | 张云珠 |
地址: | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体行业扩散渗析废酸处理装置,具体涉及废酸处理技术领域,包括反应箱,所述反应箱内部设有渗析机构,所述渗析机构包括安装板,所述安装板一侧设有隔板并与隔板通过螺栓连接,所述隔板上镶嵌有阴离子交换膜。本实用新型通过设置渗析机构,在反应箱中设置有阴离子交换膜,而后通过抽液泵和抽液管将废酸液导入反应箱内部,储水罐中的纯净水也通入反应箱内部,阴离子交换膜将废酸液与纯净水隔开,由于二者中废酸液的浓度差不同,废酸液中的废酸便可通过阴离子交换膜而进入另一侧的水中,以此对废酸进行高效回收,不消耗能量,不产生废渣、也无需使用其他药剂,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 行业 扩散 渗析 酸处理 装置 | ||
【主权项】:
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