[实用新型]压电微机械超声换能器有效
| 申请号： | 202121381594.7 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN217392887U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王凯厚;杨剑宏;王鑫琴;王蔚 | 申请（专利权）人： | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种压电微机械超声换能器，所述压电微机械超声换能器包括：衬底；设置于衬底上支撑层，其形成有至少一个开口朝向衬底的空腔，空腔侧壁、空腔顶壁与衬底围设形成真空密闭腔；设置于支撑层上的压电薄膜，其至少位于空腔上方，并直接受空腔顶壁支承，空腔顶壁直接起到支承压电薄膜的作用，省略常规PMUT结构中的沉积形成的薄膜支撑层等结构，能够显著降低PMUT的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 微机 超声 换能器 | ||
【主权项】：
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