[实用新型]一种用于IGBT器件大翘曲度长基板的焊接工装有效
申请号: | 202121383844.0 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN215644409U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 刘克明;杨金龙;王豹子;姚二现 | 申请(专利权)人: | 南瑞联研半导体有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L29/739 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 211100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于IGBT器件大翘曲度长基板的焊接工装,旨在解决IGBT器件焊接过程中铜基板预弯翘曲度过大容易出现焊接变形的技术问题。所述焊接工装包括限位框、接触面板和底板,底板固定在限位框内部,底板与限位框形成焊接凹槽,接触面板放置在焊接凹槽内,接触面板的上表面为下凹曲面,且下凹曲面的曲面率与IGBT器件的散热铜基板的曲面率一致,接触面板的下表面与底板贴合,底板的底部镂空。本实用新型能够增大铜基板与焊接热板的接触面积,避免焊接变形,提高焊接的效率和可靠性,进而提高整个IGBT器件的可靠性。 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造