[实用新型]一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯

摘要

本实用新型提供了一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其可以精确测量扫描电镜入射电子束流强度，且其结构简单、操作方便。其包括：杯盖，其包括一厚度方向贯穿的入射孔；杯体，其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔；绝缘底托，其用于隔绝样品台和杯体；所述杯盖盖装于所述杯体的上表面，所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置；其还包括有一绝缘导线，所述绝缘导线的内层金属芯一端连接所述杯体，所述绝缘导线的内层金属芯的另一端用于连接高精度测电流装置；所述杯盖和杯体均为导体材质，所述绝缘底托为绝缘材料。