[实用新型]一种可改善边缘抛光精度不足的调整环有效
| 申请号： | 202121399505.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN214980201U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李丛江 | 申请（专利权）人： | 日照泓鑫精密配件制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 日照市聚信创腾知识产权代理事务所(普通合伙) 37319 | 代理人： | 池学化 |
| 地址： | 262300 山东省日照市五莲县*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可改善边缘抛光精度不足的调整环，涉及调整环技术领域，解决了现有的调整环的内径无法改变，无法对较小半导体器件进行精准固定和按压，容易导致半导体器件边缘部位抛光研磨不达标的问题。一种可改善边缘抛光精度不足的调整环，包括抛光安装件；顶部安装筒通过螺丝拧接固定在抛光驱动电机的转杆底部。该装置能够对不同大小、厚度的半导体器件进行安装固定和抛光研磨，不会出现半导体器件抛光研磨精度不足的现象发生，且调整组件和定位组件均能够独立调节，互不干扰，灵活性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 边缘 抛光 精度 不足 调整 | ||
【主权项】：
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