[实用新型]真空系统组件测漏设备有效
| 申请号： | 202121405069.4 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN214952016U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张世镇 | 申请（专利权）人： | 广运机械工程股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王侠 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空系统组件测漏设备，该真空系统组件测漏设备用于长晶炉的上盖组及下盖组的测漏检验，所述真空系统组件测漏设备包括：一模拟石英管，所述模拟石英管呈环状板体，所述模拟石英管具有一上端面及一下端面，所述上盖组能盖置于所述模拟石英管的上端面，所述下盖组能盖置于所述模拟石英管的下端面，使所述模拟石英管、所述上盖组及所述下盖组的内部形成一腔室；以及一氦气测漏仪，所述氦气测漏仪连通于所述腔室，以能用来对所述模拟石英管、所述上盖组及所述下盖组进行测漏检验。由此，可进行进料检验，且可使容积降低。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 组件 设备 | ||
【主权项】：
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