[实用新型]一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置有效
| 申请号： | 202121413822.4 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN215251336U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 朱军;何秋霞;杨韦;马擎天 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/08 | 分类号： | C30B31/08;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。本实用新型的有益效果是利用收集装置能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 多晶 硅片 扩散 合理 利用 三氯氧磷 收集 装置 | ||
【主权项】：
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