[实用新型]一种蒸发源有效
申请号: | 202121466994.8 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN216141608U | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 王俊;杨俊;王喜本;臧世伟 | 申请(专利权)人: | 重庆金美新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 刘昌刚 |
地址: | 404100 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蒸发源,涉及真空蒸镀领域,包括舟体,所述舟体内设有倾斜放置的槽体,槽体包括位于舟体内上方的上槽体和位于舟体内下方的下槽体,上槽体和下槽体均由多个均匀排列的导液槽构成,导液槽与导液槽之间形成导液壁,且上槽体的导液槽与下槽体的导液槽相互导通,上槽体包括导液区和防溅区,导液区一端与舟体内壁贴合,导液区另一端与防溅区固定连接,所述防溅区的导液壁由多个凸起构成,凸起与凸起之间形成凹槽,每个凹槽均与上槽体的导液槽相互导通,可将铝丝蒸发后形成的液体从凹槽依次分散流向上槽体的导液槽和下槽体的导液槽。通过结构的改进,可以防止铝液飞溅,改善膜面孔洞情况,提高成品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 | ||
【主权项】:
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