[实用新型]一种蒸发源有效

专利信息
申请号: 202121466994.8 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN216141608U 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 王俊;杨俊;王喜本;臧世伟 申请(专利权)人: 重庆金美新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 代理人: 刘昌刚
地址: 404100 重*** 国省代码: 重庆;50
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种蒸发源,涉及真空蒸镀领域,包括舟体,所述舟体内设有倾斜放置的槽体,槽体包括位于舟体内上方的上槽体和位于舟体内下方的下槽体,上槽体和下槽体均由多个均匀排列的导液槽构成,导液槽与导液槽之间形成导液壁,且上槽体的导液槽与下槽体的导液槽相互导通,上槽体包括导液区和防溅区,导液区一端与舟体内壁贴合,导液区另一端与防溅区固定连接,所述防溅区的导液壁由多个凸起构成,凸起与凸起之间形成凹槽,每个凹槽均与上槽体的导液槽相互导通,可将铝丝蒸发后形成的液体从凹槽依次分散流向上槽体的导液槽和下槽体的导液槽。通过结构的改进,可以防止铝液飞溅,改善膜面孔洞情况,提高成品质量。
搜索关键词: 一种 蒸发
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆金美新材料科技有限公司,未经重庆金美新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202121466994.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top