[实用新型]一种LIBS背散射收集靶材检测装置有效
| 申请号： | 202121472554.3 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN215525538U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 徐智博;刘林林;赵培茜;林玲 | 申请（专利权）人： | 重庆建安仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 孙根 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LIBS背散射收集靶材检测装置，包括激光器，还包括分光镜，其中一光束通过多个反射镜反射并经透镜聚焦后垂直轰击靶物质表面；另一光束通过光路调节装置后经透镜聚焦后轰击靶物质表面，使两光束之间具有光程差，使两光束轰击靶物质的入射方向相正交；在靶物质表面产生的等离子体云的散射光范围内设有一散射光谱收集装置。通过设计正交双脉冲飞秒激光LIBS光路图，控制两束光路光程差，从而使得击穿烧蚀靶材产生的光谱强度得到极大的提高。通过在高反镜M10后面架设收集透镜，相当于架设了一部背望式望远镜，通过M10反射对收集光谱有影响的入射光，同时能够尽可能多的收集到等离子体羽的光谱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 libs 散射 收集 检测 装置 | ||
【主权项】：
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