[实用新型]一种基于表面等离子波干涉的压力传感器有效
| 申请号： | 202121474425.8 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN214748563U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘伟平;叶晓平;董俊伟;徐荣进;邓启航 | 申请（专利权）人： | 南京品傲光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人： | 吴亚东 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市浦口*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于表面等离子波干涉的压力传感器，包括气密室和设置于所述气密室内的传感器主体，所述气密室的顶部设置有可移动的密封盖板，所述传感器主体包括第一段传输光纤、偏振控制器、D型微腔结构和第二段传输光纤，所述D型微腔结构内设置有一半纤芯被抛磨掉的D型光纤，所述D型光纤的平坦抛磨区表面沉积有一层金属薄膜，所述第一段传输光纤的光输入端连接有光源，所述第二段传输光纤的光输出端连接有光探测器。本实用新型将传统的MZI光纤传感器和表面等离子波结合，在气密室内的光纤上设置D型微腔结构传感器，通过对空气折射率的计算可以精确的测得密封盖板所受力的大小，实现了高灵敏度和微型化的高性能光纤压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 等离子 干涉 压力传感器 | ||
【主权项】：
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