[实用新型]一种生产碳硅棒的退火炉有效
| 申请号： | 202121525275.9 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN214950648U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王勇;王涛 | 申请（专利权）人： | 淄博德瑞兹电热元件有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00;F27D7/04;H05B3/40 |
| 代理公司： | 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 范琳 |
| 地址： | 255192 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种生产碳硅棒的退火炉，包括：炉体、气体循环通道、气体循环泵和放置架，其中：所述气体循环通道的两端均与炉体的炉腔连通，所述气体循环泵设置在气体循环通道上，以促使炉腔内的保护气体循环。所述放置架包括固定板、由竖杆和斜撑杆组成的支撑架，其中：所述固定板水平固定在炉腔的下表面上。所述竖杆竖向固定在固定板上，所述斜撑杆固定在竖杆的侧壁上，且斜撑杆相对于竖杆斜向上设置。沿着所述竖杆的高度方向在其左、右两侧壁上各设置一列间隔分布的斜撑杆，沿着所述固定板的长度方向设置有若干列间隔分布的所述支撑架。本实用新型的这种退火炉通过优化和改进现有的碳硅棒退火炉的炉腔内部结构，可以有效避免碳棒的接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 碳硅棒 退火炉 | ||
【主权项】：
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