[实用新型]一种加热区温度防逸散的气相沉积车床

摘要

本实用新型提供一种加热区温度防逸散的气相沉积车床，涉及气相沉积设备技术领域，包括气相沉积外箱，气相沉积外箱的底部固定连接有第一支撑杆，气相沉积外箱的顶部一侧连接有合页，合页连接有外箱顶盖，气相沉积外箱的内部底面固定连接有第二支撑杆，采用设置气相沉积内箱与气相沉积外箱之间设置隔离层，减少了热量的散失，同时设置螺旋状的排气管，将反应后的带有温度的废气在气相沉积内箱与气相沉积外箱之间进行热量再利用，提高了气相沉积内箱与气相沉积外箱之间隔离层的温度，利用废气的温度对气相沉积内箱的温度进行维持，避免了外部温度对气相沉积内箱内部的影响，减少了加热装置的二次工作时间，同时降低了热量逸散造成的损耗。