[实用新型]一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置

摘要

本实用新型公开的属于单晶硅片清洗技术领域，具体为一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置，包括底板，所述底板的上侧壁固定设置有支架，所述支架的内部固定设置有水槽，所述水槽的上端固定设置有支撑板，所述支撑板的上端固定设置有均匀排布的竖杆，所述竖杆的侧壁固定设置有均匀排布的U型板，所述U型板的内部卡接设置有单晶硅片，所述支架的上端固定设置有水箱，所述水箱的下侧壁固定设置有出水管，所述出水管管壁的下端转动设置有旋转管，所述旋转管的内壁开设有环形槽，所述出水管的外壁固定设置有对称的限位块，可以对单晶硅片进行全面清理，有效提高了清洗的质量，便于更好的对硅粉颗粒进行收集。