[实用新型]一种炉盖发黑处理的单晶生长炉有效
申请号: | 202121611789.6 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN215668284U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 黎志欣;逯占文 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种炉盖发黑处理的单晶生长炉,包括炉体、保温筒、晶棒、水冷热屏、加热器、坩埚、埚帮、炉盖、炉盖吸热层和热屏吸热层;所述水冷热屏本体的内壁发黑处理,能够提高热吸收效果,结晶界面的结晶潜热能快速释放,起到提高拉速潜力作用。由于水冷屏上方空间大,同样存在热量积累,在所述炉盖上做发黑处理,有利于热辐射的热量更快速的释放,晶棒经历热历史温度降低和时间缩短。因此本实用新型能起到提高拉速作用,同时还能起到降低热施主,减少长晶后二次缺陷的产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 发黑 处理 生长 | ||
【主权项】:
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