[实用新型]一种用于气相法掺杂制棒的注入管及注入管装置有效
| 申请号： | 202121634900.3 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN215250435U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 丁旭;朱接印;杜城;祝威;余远;刘嘉杰;余舜辉 | 申请（专利权）人： | 烽火通信科技股份有限公司;锐光信通科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;H01S3/067 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 邱云雷 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于气相法掺杂制棒的注入管及注入管装置，该注入管包括金属管和若干气体输送管，所述金属管包括外轴管道和内轴管道，所述外轴管道的一端为密封端，所述内轴管道组设于所述外轴管道内，所述内轴管道与所述外轴管道之间形成有用于收容测温探头的第一空间，且所述内轴管道的内部形成有用于收容加热棒的第二空间；所述气体输送管位于所述外轴管道内，且位于所述内轴管道外，所述气体输送管穿过所述密封端。本申请将气体输送管直接穿过金属管，并且在输出端设置密封端，以保证密封性，由此可以取消高纯石英玻璃管，节省了维护时间和成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 气相法 掺杂 注入 装置 | ||
【主权项】：
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