[实用新型]分选机有效

专利信息
申请号: 202121657972.X 申请日: 2021-07-21
公开(公告)号: CN215183880U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 何丙新 申请(专利权)人: 深圳市博赛亚科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了分选机,包括定位架,所述定位架的底端固定设有下机架总装,定位架顶部的中间位置固定设有上机架总装,下机架总装底部的中间位置固定设有立柱,立柱的底端固定设有旋转单元,上机架总装底部的一端固定设有检测镜头,下机架总装顶部的中间位置固定设有上料直线模组,本实用新型通过将对应的Wafer盘放置到对应的上料平台上,然后检测相机会对其进行拍照定位,使得分选机本体满足检测当前的产量和效率要求,且可以达到对半导体行业中切割后的晶圆表面检测的目的,便于将切割后的晶圆转移到专用的料盘上进行检测,提高分选机的实用性,增加分选机的工作效率。
搜索关键词: 分选
【主权项】:
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