[实用新型]一种基于双线阵列的线形微波等离子装置有效
| 申请号： | 202121661170.6 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN215268832U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴丽;朱铧丞;杨阳;黄卡玛 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京快易权知识产权代理有限公司 11660 | 代理人： | 衣秀丽 |
| 地址： | 610065 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于双线阵列的线形微波等离子装置，涉及等离子体源技术领域，包括FR4板机构，FR4板机构的一端固定安装有进气点；FR4板机构包括上FR4板和设置在上FR4板下端的下FR4板，且上FR4板和下FR4板的连接处设置有垫片机构，驱动机构设置在下FR4板的下端，卡口的内部固定安装有同轴线内导体，同轴线内导体与下铜带电连接，且下端固定安装有同轴连接器，同轴连接器通过同轴线内导体连接上铜带和下铜带，给装置馈电，将装置同轴线内导体与微波源连接，再将气体由进气口注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在进气口缝隙处，此处电场强度将达到最高，调节微波源的输出功率，当其到达某一值时，缝隙处的电场强度击穿附近的气体，产生等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双线 阵列 线形 微波 等离子 装置 | ||
【主权项】：
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