[实用新型]缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202121665116.9 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN215005756U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 朱哲仪;孙秉群 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种缺陷检测装置，包括电性测试部，用于对晶圆进行电性测试；表面缺陷检测部，与所述电性测试部相连接，用于检测完成电性测试的晶圆是否存在表面缺陷；装载传送部，与所述电性测试部和所述表面缺陷检测部相连接，用于将完成电性测试的晶圆从电性测试部传送至表面缺陷检测部，并将未进行电性测试的晶圆传送至电性测试部，从而同时进行晶圆的电性测试和晶圆的表面缺陷检测。本实用新型在缺陷检测装置内增设表面缺陷检测部，以同时进行晶圆的电性测试和晶圆的表面缺陷检测，彼此不受影响。此外，通过表面缺陷检测部可及时检测晶圆电性测试后的晶圆表面针痕状态，减少或避免针痕异常造成产品重测，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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