[实用新型]探针平整度检测装置有效
| 申请号： | 202121715658.2 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN215678734U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 无锡圆方半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 无锡佳信专利代理事务所(普通合伙) 32505 | 代理人： | 宋亚超 |
| 地址： | 214216 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针平整度检测装置。包括CCD相机、光源、盒体、一号气缸、伺服电机、丝杆、二号气缸、驱动器、PLC控制器、报警信号器；所述二号气缸与伺服电机连接，伺服电机与丝杆连接，丝杆上设置有一号气缸，一号气缸与盒体连接，盒体内设置有CCD相机、光源，CCD相机、光源朝向探针台内的探针；所述驱动器通过线路与伺服电机连接，所述PLC控制器通过线路分别与CCD相机、光源、一号气缸、驱动器、二号气缸、报警信号器连接；所述PLC控制器选用欧姆龙CJ2M‑CPU34，所述驱动器选用松下伺服电机驱动器MSMD012G1U，伺服电机选用松下MADHT1505。本实用新型降低了用工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 平整 检测 装置 | ||
【主权项】：
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