[实用新型]一种太阳能电池片清洗装置、刻蚀机有效
| 申请号： | 202121734243.X | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215266340U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 朱军;何秋霞;马擎天 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种太阳能电池片清洗装置、刻蚀机，包括：若干放置不同清洗溶液的槽体；每个槽体内均配置有用于支撑硅片的滚轮；每个滚轮外壁均具有若干齿槽；齿槽可在硅片被架设平放于滚轮上时从槽体内载入清洗溶液对硅片背面及外缘面处的磷硅玻璃层进行清洗，并推动硅片沿滚轮形成的链式传输结构上依次经过不同清洗溶液的槽体，以去除硅片表面及外缘面处的磷硅玻璃层；其中，至少其中一个槽体内滚轮中的所有齿槽的齿距和齿深与其它所有槽体内滚轮中的所有齿槽不同。本实用新型仅通过在不同槽体内设置不同齿槽尺寸的链式滚轮传输结构，以去除硅片背面及边缘面上的PSG和PN结，获得硅片平整度和抛光度较现有工艺分别提高24‑27％和25‑28％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 清洗 装置 刻蚀 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于环晟光伏（江苏）有限公司，未经环晟光伏（江苏）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121734243.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
